產品 |
ProSeries 1 |
ProSeries 2 |
LXP Hybrid |
LightningTM II Digital |
特色 |
啟用於高加工速度,適用於廣泛的應用。
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提供高精度,適用於需求精密掃描應用 。 |
最高的打標速度;自調整最高的系統性能和最高效率。 |
提供精度和速度高,定位分辨達標24位。
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波長選項 |
355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm |
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孔鏡尺寸 |
7 mm | 10 mm | 14 mm |
7 mm | 10 mm | 14 mm |
7 mm | 10 mm | 14 mm |
14 mm |
掃描角度 |
± 20° | ± 22° | ± 22° |
± 20° | ± 22° | ± 22° |
± 20° | ± 22° | ± 22° |
± 22° |
常規標刻速度(m/s) |
4.0 | 3.1 | 2.5 |
3.5 | 2.9 | 1.7 |
6.5 | 5.0 | 4.0 |
8 |
常規寫入速度(cps) |
1100 | 1000 | 890 |
1000 | 650 | 550 |
1350 | 1100 | 950 |
N/A |
步級響應3,4 (µsec) |
185 | 220 | 280 |
230 | 340 | 360 |
185 | 220 | 280 |
360 |
重複精度5,6 (µrad) |
20 | 16 | 12 |
15 | 15 | 12 |
30 | 25 | 20 |
2 |
命令解析 |
16元 |
16元 |
16元 |
24元 |
長期漂移7,8 |
位置漂移:<200 µrad |
位置漂移:<100 µrad |
位置漂移:<200 µrad |
10 µrad |
入漂移 |
位置漂移:<25 µrad/°C |
位置漂移:<20 µrad/°C |
位置漂移:<25 µrad/°C |
2 µrad |
模組化或封閉式 |
封閉式 |
封閉式 |
封閉式 |
模組化 |
數據表 | ProSeries 1 掃描振镜 | |||
注意: |
所有角度均為光學度數, 除非另有說明。
1.160 mm F-Theta 聚焦鏡頭用於標記和打標速度測試。
2.單筆劃 1 mm 字符、SIMPLEX 字體。
3.對於 ProSeries 和 LXP 掃描振鏡:假定步長爲全量程的 1%。
4.對於LightningTM II 掃描振鏡:假定步長爲 10 mrad。
5.對於 ProSeries 和 LXP 掃描振鏡:平均值 <3 sigma(各軸)。
6.對於 LightningTM II 掃描振鏡:RMS、各軸。
7.針對 ProSeries 和 LXP 掃描振鏡: 預熱 30 分鍾之後,在操作 24 小時過程之中,各軸。
8.針對 LightningTM II 掃描振鏡:預熱 30 分鐘之後,在操作 8 小時過程之中,各軸。 |