| Compact design |
||
| Precise movement |
||
| 13 mm travel range |
||
| X-Y-Z direct stacking |
||
| Stacks directly with stages of 174 series |
||
| Motorized Actuator 8CMA06-13/15 |
||
| Lockable |
||
| Vacuum compatible version available |

|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Printable version | ||
| View drawings | ||
| Download PDF | ||
| Download 3D |